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天津工业大学取得超柔性高热电性能的膜材料器件的创新研究成果
时间:2025-02-06 09:46:04    来源:天津工业大学  

近日,天津工业大学纺织科学与工程学院谭明教授团队在Nature子刊《自然-通讯》(Nature Communications)以“Enabling ultra-flexible inorganic thin-film-based thermoelectric devices by introducing nanoscale titanium layers”为题,发表了关于超柔性高热电性能的膜材料器件的创新研究成果。天津工业大学纺织科学与工程学院为第一完成单位,谭明教授为第一作者。

热电材料和器件可以实现热能与电能的相互转换,在废热回收、特殊电源、固态制冷、热管理系统、生命健康及可穿戴传感器等诸多领域展现出广阔的应用前景。近年来,基于无机材料的柔性器件发展迅速,但刚性材料与柔性基底和电极之间的界面问题,依然制约着这些器件的柔性与应用范围。谭明教授团队通过巧妙的界面设计,成功攻克这一难题。他们在PI基板与Cu电极之间引入约10nm厚的Ti接触层,以及在Cu电极与热电薄膜之间加入约10nm厚的Ti阻挡层,这一创新举措显著增强了界面的结合力,大幅减少了接触电阻,从而显著提升了器件的柔性与热电输出性能。

该研究通过磁控溅射沉积方法、掩模辅助沉积技术以及倒装芯片键合技术,成功制备出性能优异的p型BST和n型BTS热电薄膜与162对p/n柔性热电器件。这些薄膜室温ZT值分别达到了1.39和1.44,首次实现了柔性器件无需额外散热器或升压器即可直接驱动LED发光。这项工作极大地拓展了柔性热电器件的应用场景。